一般在干燥前期，物料中水分含量較高，微波功率對干燥效果的影響高些，可采用連續微波加熱，這時大部分微波能被水吸收，水分迅速遷移和蒸發；在等速和減速干燥期間，隨著水分的減少，需要的微波能也少，可采用脈沖間隙式微波加熱。工業化大生產中，有許多物品是不能在高溫條件下進行干燥處理的，真空干燥是基于這樣一基本原理：水的飽和蒸氣壓與溫度緊密相關，在真空狀態下，水的沸點降低，即在真空下操作也就是在低溫下操作，可避免在高溫下營養成分維生素等的破壞，同時提高了干燥速度。微波設備此外在真空系統中，單位體積內空氣的含量低于大氣中的含量，在這相對缺氧的環境下進行食品干燥可以減輕甚至避免食品中脂肪的氧化機會，色素褐變或其它氧化變質等，所以采用真空干燥獲得較好的食品質量。

    傳統的加熱方法如蒸汽、熱風、電等加熱是利用熱傳導、對流、輻射的原理將熱量從外部傳物料內部，由表及里需要一定的時間，物料的熱傳導性能越差所需的時間就越長，因此加熱速度慢且受熱不均勻，能耗較高。微波設備干燥原理是：微波發生器將微波輻射到干燥物料上，當微波射入物料內部時，透使水等極性分子隨微波的頻率作同步旋轉，例如干燥蔬菜類制品采用915MHz的微波，則蔬菜內的極性水分子等每秒轉動9.15億次，水等極性分子作如此高速旋轉的結果使物料瞬時產生摩擦熱，導致物料表面和內部同時升溫，使大量的水分子從物料逸出，達到物料干燥的效果當它們被堆積在一起時不應看成是許多小顆粒，而是一個整體，需要特別注意料層的內外溫差。一般當物料以較大的形式出現時，需在物料接近減速干燥期時，降低微波功率，從而有效減少其內外溫差，缺點是延長了干燥時間。微波設備微波有對物質選擇性加熱的特性。水是分子極性非常強的物質，較易受到微波作用而發熱，因此含水量愈高的物質，愈容易吸收微波，發熱也愈快；當水分含量降低，其吸收微波的能力也相應降低。